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无油螺杆真空泵在行业发展和应用
编辑:杭州非耀真空设备有限公司  时间:2020-08-15

     无油螺杆真空泵是使用一对螺丝,在主腔内同步高速反向旋转的抽气设备的空气吸入和排气动作,两个螺杆通过精细的动态平衡校正,由轴承支撑,安装在空腔内,螺钉与螺钉之间有一定间隙,因此真空泵在工作时有一定间隙,彼此无摩擦,操作顺畅,噪音低,工作腔内无润滑剂,因此,无油螺真空泵可去除含有水蒸气和灰尘等固体颗粒的气体,限真空度高,消耗功率较低。具有节能、易于维护等优点。

     目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响,一般真空系统已不能满足清洁无腐蚀的要求,大量无油真空系统已被清洗无油真空系统所取代,品牌真空设备制造商已开发出各种不同类型的无油真空泵产品。

     无油螺杆真空泵是90年代初理想的泵种,其泵送范围广,结构简单紧凑,泵腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污等优点得到广泛应用,并逐渐成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业优先选择的真空接入设备。日本在螺杆压缩机的基础上,早期研制出真空泵多头转子线,并投入市场。几家德国真空设备公司也逐步开发出同感、可变螺距转子型线,并在转子和车身冷却方面做了大量研究。

无油螺杆真空泵的应用范围很广,例如:

1. 在低压化学气相沉积的多晶硅制备过程中。

2、半导体蚀刻、CVD、PVD工艺。在这些生产过程中,经常使用或产生腐蚀性气体和磨削颗粒。

3、除半导体工艺外,一些产生颗粒的过程,不希望颗粒混入泵油中,而是希望颗粒出泵。

4、在化工、制药、食品工业蒸馏、干燥、消泡、包装等,防止有机溶剂造成污染,适合使用无油真空泵。

5、做好前泵一般无油清洗真空系统,防止油污。


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