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真空泵系统​注意细节
编辑:杭州非耀真空设备有限公司  时间:2019-06-12

真空泵系统注意细节

     真空泵系统在一般情况下,在应用真空泵时发生爆炸事故是很少见的,但在某些情况下应注意此类情况的发生,如(或接近)在化学计量浓度较高的情况下使用硅烷(SiH4),如气体自燃着火和使用氧气、氢气等。混合气体条件。这些混合气体对于真空泵,如容积式机械真空泵、分子筛吸附泵、低温吸附泵等的危害是显而易见的。

     我们必须知道,在普通的油密封机械真空泵中,如果不采取维护措施或适当的操作技术,使用这些气体的潜在风险将更大。事故原因很简单,即泵室收缩发热,使危险气体的密度和温度超过允许值,发生爆炸;或SiH4等气体在普通机械泵油中的溶解度足够高,爆炸浓度可以在泵油箱中。如果真空泵在这种情况下发生爆炸,从铸造泵体或罐中飞出的碎片将对操作人员造成严重伤害。预防措施是在气体被泵入机械真空泵之前完全冷却气体,例如,使用简单的热交换器。防止氢气爆炸危险的措施是在氢气进入压缩抽气系统前对其进行冷却,并将氢气浓度(可与惰性气体混合)降低到危险浓度以下。

     其次,真空系统中的水冷系统应工作正常(压力、流量),无泄漏。所有冷却回路必须能够接受正常工作水压产生的压力(具有适当的安全系数)。真空系统工作时,系统内所有已安装冷却回路的冷却液进出口必须畅通、无堵塞。这个问题应该通过联锁安装冷却液流量(而不是压力)停止监测来处理。

     系统中的所有玻璃部件,包括玻璃检查窗,必须进行防冲击保护。如果玻璃破碎,工作人员不会被玻璃飞片损坏。对于可能出现这种意外情况的地方,采用粗格栅钟罩式防爆屏障是一种常见的做法。


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