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真空泵系统及其类型
编辑:杭州非耀真空设备有限公司  时间:2016-07-15

真空泵系统及其类型

       真空泵系统按其工作原理的不同分为压缩型(变容型)和吸附型两类。压缩型真空泵工作原理是将泵的入口端的气体压缩到出口端,并排出至泵外。

    一个容器放在自然环境中.如果不改变其内部气体压强,那么容器内外部的气体压力达到平衡状态,在数值上等于大气压。要使容器内部达到真空状态,就必须排出容器内部的气体,使内部气体压强小于外部大气压。利用机械、物理、化学或物理化学的方法,把气体从容器中排出而获得真空的设备称为真空泵。

    常见压缩型真空泵有:利用膨胀一压缩一排出过程的旋转式机械泵,利用涡轮叶片排除气体的涡轮分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是将气体吸附在泵体内,已达到降低气体压强的目的。
    常见吸附型真空泵有:利用电离吸气作用的离子泵,利用物理或化学吸附作用的吸附泵、吸气泵和低温冷凝泵等。吸附型真空泵与压缩型真空泵最大不同是,吸附型真空泵并不是将气体排出泵外,而是贮存在泵内,前者所能达到的真空度比后者高,但抽速小,适用容器也较小。真空电阻炉采用的是压缩型真空泵,例如机械泵、罗茨泵以及扩散泵等。

    各类真空泵系统都有自己的工作范围,有的泵可以直接从大气状态下开始工作,如机械泵、吸附泵,有些泵就不能直接从大气状态下开始工作,如扩散泵、分子泵、离子泵等,入口真空度必须达到一定数值时,才能开始工作。

 

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